Päämainos

Chipmetrics kaupallistaa VTT:n testisirua

PillarHall-testisiru sopii etenkin ohutkalvorakenteiden valmistusprosesseihin.

27.11.2020
Teksti Esko Lukkari

VTT:n kehittämä kolmiulotteisten ohutkalvorakenteiden analysointiin tarkoitettu PillarHall-testisiru on valmis markkinoille. VTT:ltä ponnistava Chipmetrics Oy alkaa kaupallistaa sirua. 

Testisiru mahdollistaa entistä pienempien nanorakenteiden ja komponenttien valmistuksen. Tämä avaa uusia mahdollisuuksia mm. puolijohteiden, muistipiirien ja älylaitteiden kehittämiseen.

Testisirun alkuvaiheen markkinan painopiste on ALD. ALD-laitteiden ja -prosessien kehittäjät sekä komponenttien valmistajat ovat kiinnostuneita testisirusta. Ratkaisulla voidaan kehittää muutakin ohutkalvoprosessiteknologiaa, jolla vastataan 3D-vaatimuksiin.    

VTT tiedotti innovaatiostaan 23.11.

VTT on jo testannut sirua kansainvälisillä markkinoilla ja Chipmetrics tähtää globaaliin liiketoimintaan. ALD-teknologiaa hyödynnetään monilla korkean teknologian aloilla. 

Kolmiulotteisuus on puolijohdeteollisuuden megatrendi. Sillä voidaan parantaa transistorien ja muistipiirien suorituskykyä ja energiatehokkuutta. Mikromittakaavan uudet rakenteet ja materiaalit sekä kutistuva geometria ovat haasteita puolijohdevalmistajille, koska ne edellyttävät kolmiulotteisuuteen kehitettyjä prosessilaitteita, mittausta ja testausta. 

Suuret globaalit markkinat

Tekoäly integroituu kaikkialle ja kohteita ovat muun muassa älykäs liikenne, datakeskukset ja lääketieteellinen tekniikka. Komponenteilta vaaditaan entistä suurempaa luotettavuutta ja siihen tarvitaan mittausta ja testausta. 

PillarHall-testisiru soveltuu ohutkalvorakenteiden valmistusprosessien luotettavaan, nopeaan ja kustannustehokkaaseen vertailuun. Sillä voidaan mitata ohutkalvoprosessin peittävyyttä eli kykyä pinnoittaa 3D-kappale tasaisesti. 

”Kertakäyttöistä PillarHall-testisirua voi käyttää erilaisten 3D-ohutkalvoprosessien ja reaktorien vertailussa. Testisirulla voidaan nopeuttaa prosessien kehittämistä ja monitoroida tuotantoa tulevaisuudessa”, sanoo tiedotteessa Chipmetricsin perustaja, TkT Mikko Utriainen.

”VTT on patentoinut testisirun uniikin rakenteen ja kehittänyt tuotannolliset valmistusmenetelmät testisirujen tuotantoon. Ne antavat hyvän teknologisen pohjan Chipmetricsin kasvulle globaaleilla markkinoilla”, sanoo VTT Mikroelektroniikan johtaja Tauno Vähä-Heikkilä.

Valmistus jatkuu Micronovassa

Testisirun taustalla on atomikerroskasvatuksen eli ALD:n huippututkimus Suomessa sekä VTT:n kokemus MEMS-valmistusprosesseista. Testisirua on kehitetty VTT:llä Micronovan kehitys- ja tuotantoympäristössä vuodesta 2013 alkaen. VTT:n ja Aalto-yliopiston lisäksi Micronovassa toimii noin 20 yritystä.

“PillarHallin polku on ollut monella tapaa poikkeuksellisen onnistunut. Sen liiketoimintamalli ja tuote, markkina, kysyntä, asiakaspalaute, myyntikanavat ja skaalautuvuus ovat kaikki varsin lupaavia”, iloitsee Utriainen.

Etusivulle >

Lisää teknologiauutisia >

JAA

LUETUIMMAT